QUANTAX Micro-XRF
La spectroscopie de micro-fluorescence de rayons X (micro-XRF) est une technique analytique non destructive qui peut être utilisée parallèlement à la spectroscopie à dispersion d’énergie (EDS) conventionnelle sur un microscope électronique à balayage (MEB).
Micro-XRF sur SEM, également connu sous le nom de SEM XRF, offre au SEM une gamme de nouvelles fonctionnalités telles que la capacité de mesurer et de cartographier les éléments traces, l’analyse d’échantillons en couches, etc.
La spectroscopie de micro-fluorescence de rayons X (micro-XRF) est une technique analytique non destructive qui peut être utilisée parallèlement à la spectroscopie à dispersion d’énergie (EDS) conventionnelle sur un microscope électronique à balayage (MEB).
Micro-XRF sur SEM, également connu sous le nom de SEM XRF, offre au SEM une gamme de nouvelles fonctionnalités telles que la capacité de mesurer et de cartographier les éléments traces, l’analyse d’échantillons en couches, etc.
Détection des éléments traces
L’analyse par rayons X est plus sensible aux éléments traces, permettant leur détection à des concentrations aussi faibles que 10 ppm pour certains éléments, une gamme spectrale de rayons X étendue (jusqu’à 40 keV), ainsi que des informations d’une plus grande profondeur dans l’échantillon.
Cartographie élémentaire avec petites tailles de spot
QUANTAX micro-XRF est équipé de XTrace 2, notre dernière source de rayons X, comprenant une optique à rayons X à micro-focalisation qui produit de petites tailles de spot allant jusqu’à 10 µm à un débit de haute intensité.
Analyse d’échantillons multicouches
La plus grande profondeur d’excitation des rayons X permet la caractérisation d’échantillons multicouches de 1 nm à 40 µm, ce qui n’est pas possible via une excitation par faisceau d’électrons.
La puissance combinée de l’analyse par faisceau d’électrons et par rayons X
- Réalisez une analyse plus complète – L’augmentation de SEM EDS avec micro-XRF offre aux utilisateurs un potentiel à double faisceau, permettant même d’analyser simultanément des échantillons à l’aide d’un faisceau d’électrons et d’un faisceau de rayons X.
- Voir plus d’éléments – Les éléments légers (du carbone au sodium) sont excités via le faisceau d’électrons, tandis que les éléments plus lourds sont excités via le faisceau de rayons X.
- Une mesure pour deux spectres – l’EDS et l’acquisition micro-XRF ont lieu dans le même détecteur, incorporant des données spectrales d’éléments légers ainsi que des éléments traces avec des données de rayons X à plus haute énergie.
- Collectez des données plus propres – Des pics bien séparés et une plage spectrale étendue permettent la séparation des raies K à haute énergie car elles sont moins complexes et moins superposées.
- Gagnez du temps – pas ou peu de préparation d’échantillon requise sans avoir besoin d’une surface d’échantillon conductrice et/ou d’un polissage approfondi.
Qu’est-ce qui est inclus dans le système QUANTAX Micro-XRF ?
QUANTAX Micro-XRF fournit les outils dont un utilisateur a besoin pour effectuer une analyse micro-XRF dans son microscope électronique à balayage. Le système se compose de :
- Une source de rayons X XTrace 2 50 kV
- Logiciel ESPRIT pour le traitement et l’analyse des données
- Un détecteur XFlash ® EDS pour l’analyse de débit à haute intensité avec une plage d’énergie étendue (existant sur SEM ou acheté séparément)
- Étape rapide pour la cartographie élémentaire à grande vitesse (facultatif)
XTrace 2 – Source de rayons X avancée pour micro-XRF sur SEM
XTrace 2 est la source de rayons X de nouvelle génération du système micro-XRF QUANTAX pour micro-XRF sur SEM (SEM XRF). Cette nouvelle source de rayons X innovante permet une acquisition spectrale micro-XRF rapide avec des données haute résolution.
Des fonctionnalités avancées, telles qu’un mode FlexiSpot, un système de gestion de l’ouverture et une sélection de filtre motorisée facilitent la collecte de données riches à partir d’échantillons même difficiles.
- Collectez rapidement et efficacement des données élémentaires précises avec des rayons X à haute énergie de 50 kV et des courants de faisceau de 1 000 µA pour un taux de comptage élevé.
- Détection des éléments traces à de faibles niveaux de ppm avec commutation automatique entre 6 filtres primaires pour une meilleure réduction du bruit de fond.
- Numérisez des échantillons topographiques en haute résolution à l’aide d’un système de gestion d’ouverture (AMS) qui maintient l’image nette sur une distance de travail variable.
- Analysez des échantillons inhomogènes et/ou irréguliers à l’aide du mode FlexiSpot , permettant des mesures spectrales d’une petite à une plus grande taille de spot.
- Rétractez l’optique à rayons X lorsqu’elle n’est pas nécessaire en utilisant une platine linéaire motorisée avec rétraction automatique de la source (position de mesure et de stationnement).
- Revenez aux zones d’intérêt de votre échantillon en enregistrant les positions de mesure pour corréler l’analyse micro-XRF/e-beam .
- Maximisez la durée de vie du tube à rayons X grâce à la procédure de préchauffage automatique du tube à rayons X .
- Contrôlez l’analyse, sélectionnez les filtres et déplacez la platine linéaire à l’aide du logiciel intuitif ESPRIT .
Pétrologie du manteau et source de diamants
Les données micro-XRF ont l’avantage d’identifier les lignes de rayons X à haute énergie ainsi que les éléments traces dans l’échantillon. Le micro-XRF est une petite analyse ponctuelle (environ 35 micromètres), bien que plus grande qu’un faisceau d’électrons. Le volume d’interaction est bien supérieur à celui d’un faisceau d’électrons et dépend de l’élément et de la matrice d’échantillon. Par conséquent, la carte élémentaire 2D peut produire des différences entre le faisceau électronique et les cartes générées par rayons X. Le fond spectral inférieur permet la détection d’éléments traces qui n’est pas possible avec un faisceau d’électrons. Les exigences de préparation des échantillons sont différentes ; par exemple, il n’y a pas d’effets de charge et par conséquent pas de revêtement d’échantillon. De plus, en raison de la profondeur des informations, aucun polissage de haute qualité n’est nécessaire. De plus, un échantillon rugueux peut être analysé tant qu’il a une surface plane.
Identification des contaminants et des toxines dans les sol
La cartographie de grande surface (Hypermaps) à l’aide de SEM-XRF peut être effectuée sur des échantillons avec topographie. Autrement dit, une préparation minimale de l’échantillon est requise et l’échantillon peut être analysé directement sans aucune dégradation. Ceci est particulièrement pertinent dans l’analyse des sols, où toute forme de préparation d’échantillon, telle que le montage et le polissage ou le revêtement de carbone, peut altérer l’échantillon. Le micro-XRF peut analyser directement des échantillons de sol, comme le montre la Fig. 1. Cela inclut les éléments majeurs mais aussi les oligo-éléments ou les phases oligo-minérales qui peuvent incorporer des contaminants ou des toxines (voir Fig. 2). Dans cet exemple, des grains contenant des contaminants Pb et As sont identifiés.
