MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE Bord dimensionnel PSS

En tant qu’extension de la plate-forme Dimension Edge AFM, l’Edge PSS intègre la valeur et la résolution incroyables pour lesquelles les systèmes Dimension AFM sont renommés, tout en fournissant une solution basée sur la production pour les mesures de substrat.

Fournit des mesures de substrat nu et d’épi rugosité.

Analyse tous les paramètres critiques des substrats PSS.

Lorsque le pas du substrat en saphir à motifs (PSS) descend en dessous de 2 microns, les techniques confocales traditionnelles perdent la résolution nécessaire pour fournir une métrologie de processus précieuse. Le microscope à force atomique (AFM) Dimension Edge PSS résout ce besoin avec une résolution inférieure au nanomètre et la capacité de mesurer jusqu’à neuf plaquettes de 2 pouces à la fois (ou une seule plaquette de 4 ou 6 pouces), fournissant toutes les données nécessaires pour garder le processus de fabrication du PSS sous contrôle.

En plus des capacités de mesure PSS spécifiques intégrées au Dimension Edge PSS, le système intègre également toute la technologie Bruker AFM de pointe pour laquelle les microscopes Dimension sont devenus célèbres, y compris la haute résolution et le faible bruit pour les mesures de rugosité épitaxiale, etc. modes AFM standard et propriétaires tels que TappingMode, Contact Mode, PhaseImaging™ et LiftMode™.